龙门架位平台：标准

 
藉由各种标准单轴定位平台的堆栈组合，可构成许多不同行程及功能的标准龙门架构定位定位平台，能有效缩短产品开发时程并且大量生产，此类型定位平台常应用于光电组件、面板显示、医疗器材产业等。
· 光学检测运用
· 高刚性的铝制龙门架构
· 无铁心式线性马达




微细加工到大工件的加工
适用于以雷射或刀具实施之微细结构的加工，充分利用了小型龙
门结构的特性，同样提供了合理价格的解决方案。
采用运动特性平顺的LMC系列线性马达
重现性士2μm
经过大量实际应用的考验




实际案例
合理价格的取放及检测用龙门定位系统
XY龙门架构使得许多应用得以更低的成本来实现，以标准元件
构筑而成的龙门定位平台。
采用LMX1L系列的定位轴
重现性土2μm
可提供含底座






平面马达
平面伺服马达提供了一个最佳的检测定位解决方案，比方说，印
刷电路板PC B的检测， 在马达可动部，上装置C CD镜头拍摄板子上
的印刷电路是否完整及SMD元件。
 
由于使用非接触式空气轴承，几乎没有磨耗
在整个平面上可以达到很好的平面度(最大1000mm平方)
重现性士3μm
 



高等级的晶圆质量管制、光罩制作
晶圆表面的管制以及晶圆或玻璃面板的光罩通常需要探用空
气轴承式的XY平台， 以检测出极微小的缺陷或制出高精度
的光罩。例如电子业，芯片工业以及平面显示器业里面都采
用这种方式。
平面度土2μm
重现性士0.5μm
精度士1.5μm




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