详细说明
●特征
●高速度
●无顿力
●高精度
●组装容易
●光学检测应用
●高钢性的铝结构
●无铁心式直线电机
●微米技术及晶圆处理
●在微米工程等级的应用以及晶圆设备中尤其重视绝对精度及
●洁净室适用性。采用线性马达高精度XY平台为最佳选择。
●洁净室等级100适用 。
可非标定制，协助选型号+图纸+报价，联络方式：18825529049 吴工（微信同号）
吴女士 18825529049
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