详细说明
上银双轴直线电机定位平台：标准
采用LMC无铁心式线性电机系列，适合点到点精密定位及要求等速的扫描运动。
· 光学检测运用 高刚性的结构
高速度
无顿力
高精度
组装容易
光学检测应用
高刚性的铝结构
无铁心式线性马达
微米技术及晶圆处理在微米工程等级的应用以及晶圆设备中尤其重视绝对精度及
洁净室适用性。采用线性马达高精度XY平台为最佳选择。
行程200mmx200mm，亦可选购300mmx300mm
全行程平面度土4μm
各轴重现性土1μm
各轴精度土4μm
洁净室等级100适用 ，亦可选购等级10
· 高刚性的铝结构
吴先生 18825529040
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