●特征

●高速度

●无顿力

●高精度

●组装容易

●光学检测应用

●高钢性的铝结构

●无铁心式直线电机
●微米技术及晶圆处理
●在微米工程等级的应用以及晶圆设备中尤其重视绝对精度及
●洁净室适用性。采用线性马达高精度XY平台为最佳选择。
●洁净室等级100适用 。