平面伺服馬達藉由空氣軸承並整合位置感測器，可於單一定子上放置多顆動子在X-Y平面上移動。亦可倒吊操作。
 X-Y平台
 整合位置感測器可作閉迴路控制
 採用空氣軸承故無無磨耗
 磁場不外漏，不影響周圍設備
 無溫升問題，系統精度相對穩定
 可倒吊安裝
 定子大小(行程)可依客戶需求客製